基于高反膜自对准超导纳米线单光子探测器的制备方法

摘要

本发明提供一种基于高反膜自对准超导纳米线单光子探测器的制备方法，采用深硅刻蚀工艺图形化衬底，以在衬底中形成凹槽，其中，凹槽具有自对准器件的形貌，凹槽的位置与超导纳米线对应设置，且凹槽的底部显露高反膜；采用剥离工艺剥离高反膜，以实现制备基于高反膜自对准超导纳米线单光子探测器。