公开/公告号CN112768343A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-07
原文格式PDF
申请/专利权人 广州链通科技有限公司;
申请/专利号CN202110103332.2
发明设计人 胡学付;
申请日2021-01-26
分类号H01L21/02(20060101);H01L21/67(20060101);C02F1/469(20060101);
代理机构
代理人
地址 510653 广东省广州市天河区凌塘下街西巷18号A21
入库时间 2023-06-19 10:54:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-08-19
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L21/02 专利申请号:2021101033322 申请公布日:20210507
发明专利申请公布后的撤回
机译: 半导体制造用去离子水生产设备及其管理方法
机译: 用去离子水制造石灰乳的方法和装置
机译: 用去离子水制造石灰乳的方法和装置