基于开环交叉耦合迭代学习的水晶研磨控制方法与系统

摘要

本发明公开了一种基于开环交叉耦合迭代学习的水晶研磨控制方法与系统。其中一种基于开环交叉耦合迭代学学习的水晶研磨控制方法，包括以下步骤：S10，建立水晶研磨伺服系统数学模型；S20，建立离散型交叉耦合迭代学习控制器对位置进行控制；S30，产生新的控制信号；S40，得到跟踪误差；S50，经过轮廓误差分配模型补偿到各轴以消除每个轴对其它轴的影响。