MEMS扫描镜及激光投影仪

摘要

本发明公开一种MEMS扫描镜及激光投影仪。在一具体实施方式中，该MEMS扫描镜包括反射镜及反射镜偏转角度感测机构；所述反射镜偏转角度感测机构包括压力传感器，所述压力传感器包括对称形状的膜状压敏电阻元件和从该压敏电阻元件引出用于构成惠斯顿电桥的第一端、第二端、第三端和第四端，所述第一端和第二端位于该压敏电阻元件对称轴方向的两端，所述第三端和第四端关于该对称轴对称设置。该实施方式可减少MEMS扫描镜中的压阻式压力传感器中压敏电阻元件的个数，从而减小压阻式压力传感器的体积，并减少对关于其布线和布局的限制。