一种计数式变栅距光栅位移传感器

摘要

本发明涉及一种计数式变栅距光栅位移传感器，包括准直光学系统和Y型光纤，准直光学系统设置在传感器内，Y型光纤穿入传感器与准直光学系统一侧相对，传感器外壳内设置有导轨，滑块通过连接轴滑动设置在导轨上，滑动内侧设置有与准直光学系统另一侧相对的反射镜，传感器内部底端设置有与反射镜相对的变栅距光栅。本发明的有益效果是：提供一种计数式变栅距光栅位移传感器，本申请提高了传感器整体精度，降低了对导轨加工精度的要求，增加装置的适用性。