公开/公告号CN112697120A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-23
原文格式PDF
申请/专利权人 北京自动化控制设备研究所;
申请/专利号CN202011431601.X
申请日2020-12-10
分类号G01C19/5621(20120101);
代理机构
代理人
地址 100074 北京市丰台区云岗北里1号院3号楼
入库时间 2023-06-19 10:44:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-10-18
授权
发明专利权授予
机译: 石英共振陀螺仪或石英共振音叉陀螺仪
机译: 垂直方向上积累的电子电路和包括晶片级密封包装的X Y轴双质量音叉陀螺仪
机译: 在垂直方向上集成了双质量音叉陀螺仪X-Y轴,包括晶圆级封装和密封电子电路