一种基于多温区精确控制的大型液氮制冷式深冷处理设备

摘要

本发明公开了一种基于多温区精确控制的大型液氮制冷式深冷处理设备，包括冷量输入装置、大型深冷箱、冷量辅助调节装置，大型深冷箱包括箱体，所述的箱体一端设有液氮分散室，另一端设有尾气贮存电磁阀，液氮分散室与尾气贮存电磁阀之间的腔体为工件处理腔，工件处理腔与液氮分散室之间设有腔室隔板；本发明中采用划分区域和在对应的区域中设置温度传感器，采用加权求和的算法来计算得到更为精确的环境温度，利用精确的环境温度实现对温度不均匀的工作处理腔精确控温，并通过高压汽化喷头精确微调，达到了对工件更好地深冷处理效果，避免了因温度不均匀、不达标导致工件内部结构问题；更精确的温度控制可以有效降低液氮的消耗，达到节能的效果。