一种抑制气液两相流压力脉动和振动的浸液供给回收装置

摘要

本发明涉及一种抑制气液两相流压力脉动和振动的浸液供给回收装置。本发明密封抽排腔连通密封抽排口，密封抽排腔还与密封抽排流路连通，密封抽排系统与密封抽排流路连通并向密封抽排流路提供真空源，密封抽排口从第三间隙中抽取浸没液体，同时抽取浸没液体径向外侧的气体；辅助供气流路与密封抽排腔连通，经辅助供气流路向密封抽排腔提供湿性气体。本发明能够适应密封抽排口抽取的气液比例变化对气液两相流流型造成的影响，抑制密封抽排腔以及密封抽排流路中的压力脉动和振动；使用湿性气体经辅助供气流路向密封抽排腔供给，抑制液体的蒸发产生的温降，提高浸没液体和光刻机的温度稳定性；进而提高光刻机的曝光质量。