一种没有四氯化硅排放的多晶硅生产法

摘要

本发明的目的是公开了一种没有四氯化硅排放的多晶硅生产方法，从而防止四氯化硅对环境的污染；本发明首先采用改良西门子法生产多晶硅，然后将产出的副产品四氯化硅作为原料来生产多晶硅和石英玻璃；本发明不仅实现了废物再利用，节约了能源，降低了生产成本，而且还同时生产出了石英玻璃。