法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-10-03
授权
发明专利权授予
机译: 具有自保护功能的接触器,具有接触之间相互排斥力的作用,并将其与电路断开联系在一起,从而限制了短路电流
机译: 具有自保护功能的接触器是指接触器与相关的短路电流中断和限制装置之间的排斥力的作用
机译: 使用指示至少一种尖端到尖端的短路或泄漏,至少一种尖端到一侧的短路或泄漏,以及至少一侧到另一侧的短路或泄漏的非接触电测量来处理半导体晶片的方法,其中使用具有带束偏转功能的带电粒子束检查器从带尖端到尖端短,尖端到侧面短测试和侧面到侧面短测试区域的单元中获得此类测量结果阶段