一种用于估算分析缝处离子束流宽度的方法

摘要

本发明揭示了一种用于估算分析缝处离子束流宽度的方法。本发明用于离子质量分析相关的领域，主要为半导体设备中离子注入机领域。质量分析器的分辨能力主要取决于，离子束在分析缝处的宽度和分析缝本身宽度。离子束本身的宽度不易直接测量，而分析缝宽度可以控制，且质量分析器的分辨率主要有两个宽度中较宽的一个决定。本方法通过测量不同分析缝宽度时质量分析器的分辨率，可以得到由离子束束宽和分析缝缝宽决定的不同分辨率，进而可以估算分析缝处离子束本身的宽度。