基于可控卷曲二氧化钒薄膜的微纳致动器及其制备方法

摘要

本发明属于微纳尺度的致动器技术领域，具体为一种基于可控卷曲二氧化钒薄膜的微纳致动器及其制备方法。本发明的微纳致动器包括表面平整的石英玻璃衬底，以及形成于衬底上的二氧化钒管状结构，该二氧化钒管状结构由具有内应力梯度的二氧化钒薄膜在腐蚀液中释放应力卷曲而得，包括向上卷曲与向下卷曲两种结构；其中，具有内应力梯度的二氧化钒薄膜由两种不同衬底温度下溅射形成。本发明还可以通过调节衬底温度的大小控制卷曲的方向。不同卷曲方向的二氧化钒三维管状结构在温度或光触发相变后具有不同的致动方向和形变量。这种微纳致动器，制备方法简单，成本较低，可大规模生产，对在动态器件中具有广泛应用意义。