一种分析型臭氧发生系统

摘要

本发明公开了一种分析型臭氧发生系统，包括：质量流量控制器MFC单元、臭氧产生单元、臭氧浓度检测单元以及微控制器；MFC单元以及臭氧浓度检测单元均与臭氧产生单元连接；MFC单元用于向臭氧产生单元输入不同流量的干燥气体；臭氧产生单元用于产生流量为期望流量阈值且浓度为期望浓度阈值的期望臭氧；臭氧浓度检测单元用于实时检测臭氧产生单元中的臭氧浓度并将得到的臭氧浓度检测信号发送至微控制器；MFC单元、臭氧产生单元以及臭氧浓度检测单元均与微控制器连接；微控制器用于控制MFC单元输出的流量、实时根据臭氧浓度检测信号计算出系统当前的臭氧浓度以及控制臭氧产生单元产生期望臭氧。本发明实现了臭氧浓度的精准产生。