一种光电三极管放大倍数调整的方法

摘要

本发明揭示了一种光电三极管放大倍数调整的方法，包括：在第一光电三极管的基极区的预设区域设置遮光区，其中，第一光电三极管包含于晶圆上的所有光电三极管；开启晶圆测试，判断第一光电三极管的HFE值是否等于预设值；若否，则根据第一光电三极管的测试值与预设值的差值，使用激光修调工艺，缩小遮光区的面积，以调整第一光电三极管的HFE值，使调整后的HFE值等于预设值；再次判断第一光电三极管的HFE值是否等于预设值；若是，则第一光电三极管放大倍数调整结束。通过测试和调整，使得光电三极管的HFE值保持一致，同一个晶圆上的管芯参数变化范围小。此外，可根据需要将光电三极管的参数调整到指定的参数范围。