公开/公告号CN112596198A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
申请/专利号CN202011580613.9
申请日2020-12-28
分类号G02B7/185(20210101);
代理机构44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人魏毅宏
地址 130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
入库时间 2023-06-19 10:27:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-21
授权
发明专利权授予
机译: 一种利用电子束曝光设备防止曝光过程拼接误差的方法
机译: 一种利用电子束曝光设备防止曝光过程拼接误差的方法
机译: 一种根据反射镜以声学方式测量烟道信号高度的方法,其中,由于声振动传播速度的变化而自动补偿产生的误差