一种高分辨率微显示器缺陷修复方法

摘要

本发明公开了一种高分辨率微显示器缺陷修复方法，所述方法具体包括如下步骤：S1、定义亮点的亮度阈值，定位微显示器中的亮点坐标；S2、将亮点坐标导入聚焦粒子束设备，聚焦粒子束设备对亮点坐标对应的像素进行缺陷修复。本发明通过使用自动点屏和光学测试设备自动定位缺陷坐标，FIB设备根据缺陷坐标自动定位，FIB直接沉积遮挡层或者先切割再沉积保护层，从而实现缺陷的自动定位和自动修补，解决了激光修补精度差，不能修补微显的问题，同时避免了激光修补热效应导致的邻近像素失效和封装失效的问题。