公开/公告号CN112556946A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-26
原文格式PDF
申请/专利权人 博瑞赛斯科学仪器(江苏)有限公司;
申请/专利号CN202011443215.2
发明设计人 陈郁;
申请日2020-12-11
分类号G01M3/26(20060101);G01N21/95(20060101);
代理机构11825 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人田江飞
地址 210013 江苏省南京市建邺区福园街133号2506室
入库时间 2023-06-19 10:24:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-10-27
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01M 3/26 专利申请号:2020114432152 申请公布日:20210326
发明专利申请公布后的驳回
机译: 一种用于清洁在OLED装置中使用的真空系统的方法,一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的方法以及一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的装置
机译: 一种用于锁压袋的真空装置,其具有设置在壳体中的抽吸装置和布置在远离壳体的抽吸喷嘴,该喷嘴与抽吸装置连接并且具有橄榄形横截面
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置