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用于低温电子显微镜的样品制备方法和装置

摘要

用于低温电子显微镜的样品制备方法和装置。提供了各种方法和装置来寻找用于低温电子显微镜的样品的最佳样品条件。可使用样品检查装置筛选具有不同样品条件的多个样品。所述样品检查装置包括形成在顶部电子透明层与底部电子透明层之间的至少一个室,其用于固持所述样品。所述室内布置有多个柱。所述样品检查装置包括覆盖所述多个柱中的至少一个的窗口。

著录项

  • 公开/公告号CN112557422A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-03-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 FEI 公司;

    申请/专利号CN202010933864.4

  • 申请日2020-09-08

  • 分类号G01N23/04(20180101);G01N23/20058(20180101);G01N1/38(20060101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人张凌苗;陈岚

  • 地址 美国俄勒冈州

  • 入库时间 2023-06-19 10:24:22

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-03-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/04 专利申请号:2020109338644 申请日:20200908

    实质审查的生效

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