一种可连续填料的真空镀膜装置及其连续填料方法

摘要

本发明公开了一种可连续填料的真空镀膜装置及其连续填料方法，包括补料室，所述补料室通过过渡管连通有蒸发坩埚，所述蒸发坩埚连有镀膜室；所述补料室内设有料仓，所述料仓通过过渡管连通所述蒸发坩埚；所述蒸发坩埚内用以容纳金属液，所述蒸发坩埚外侧设有坩埚加热器和红外液位仪，蒸发坩埚的顶部通过蒸汽管道连通有镀膜喷嘴，所述镀膜喷嘴位于所述镀膜室内；所述过渡管外侧设有过渡管加热器，所述蒸汽管道外侧设有喷嘴加热器，所述蒸汽管道上还设有阀门，所述阀门上还设有压力检测元件；所述过渡管的上端与所述料仓连通，所述过渡管的下端与所述蒸发坩埚连通。本发明实现简单有效的能提供锌料供应的真空镀膜装置和连续填料方法。