公开/公告号CN112541552A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-23
原文格式PDF
申请/专利权人 中国计量大学上虞高等研究院有限公司;中国计量大学;
申请/专利号CN202011488355.1
申请日2020-12-16
分类号G06K9/62(20060101);G06K9/46(20060101);G06N3/04(20060101);G06N3/08(20060101);
代理机构33200 杭州求是专利事务所有限公司;
代理人万尾甜;韩介梅
地址 312000 浙江省绍兴市上虞区曹娥街道江西路2288号浙大网新科技园A1楼401.402
入库时间 2023-06-19 10:21:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-19
授权
发明专利权授予
机译: 光声和超声诊断方法相结合
机译: 多级梯度光掩模,制造多级梯度光掩模的方法,多级梯度光掩模的空白和转移图案的方法
机译: 校正具有光梯度的光掩模中的缺陷的方法以及具有光梯度的光掩模