X射线层析照片综合合成装置

摘要

本发明提供一种X射线层析照片综合合成装置(36)，包括使带电粒子的粒子射束指向靶极(42)的装置，当带电粒子击中靶极(42)时，靶极发射X射线，以透射被拍摄检查的试样(2)。根据本发明，靶极(42)至少有一个载体(46)，在该载体(46)上布置有多个靶极元件(48-54)，各靶极元件相互有一定间距，并分别部分地覆盖载体(46)。此外，根据本发明预设有致偏器，粒子射束通过致偏器可以偏转，以击中靶极元件(48到54)。