一种射频离子源阻抗匹配方法及装置

摘要

本发明公开了一种射频离子源阻抗匹配方法及装置，将谐振电路串接在逆变电路与射频离子源之间，通过谐振方式使射频离子源获得同相位的正弦电压和电流，当射频离子源等效阻抗发生改变时，会导致负载回路的谐振频率发生改变，通过谐波识别和扫频检测方法获得谐振电路和射频离子源的谐振频率，通过改变逆变电路开关管驱动信号的频率来改变逆变电路的输出频率，使逆变电路的输出频率与负载回路的谐振频率一致，重新谐振，从而解决阻抗匹配的问题，保证最大功率传输。