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光谱仪装置以及用于制造光谱仪装置的方法

摘要

本发明涉及一种光谱仪装置(10),该光谱仪装置包括:法布里珀罗‑干涉仪单元(FP),该法布里珀罗‑干涉仪单元包括第一载体基底(TS1),其中所述第一载体基底(TS1)布置在法布里珀罗‑干涉仪单元(FP)的下侧(U)上并且具有光学孔径(NA);第一基底(K)和/或第二基底(S),该第一基底布置在法布里珀罗‑干涉仪单元(FP)的背离下侧(U)的上侧(O)上,其中所述第一载体基底(TS1)以下侧(U)布置在第二基底(S)上;布置在第二基底(S)上或中和/或布置在第一基底(K)上或中的光电探测器装置(PD),其中,光电探测器装置(PD)的第一电联接区域(A1)和法布里珀罗‑干涉仪单元(FP)的第二电联接区域(A2)可以从同一方向进行电接触。

著录项

  • 公开/公告号CN112534222A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-03-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 罗伯特·博世有限公司;

    申请/专利号CN201980050931.3

  • 申请日2019-07-09

  • 分类号G01J3/02(20060101);G01J3/28(20060101);G01J3/26(20060101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人后云钟;司昆明

  • 地址 德国斯图加特

  • 入库时间 2023-06-19 10:18:07

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