一种膜片飞秒激光刻痕方法

摘要

本发明提供一种膜片飞秒激光刻痕方法，解决现有膜片的刻痕深度均匀性不好，导致膜片可靠性较差、容易引起误爆的问题。该方法包括：步骤一、设置飞秒激光器的参数，设置扫描振镜的扫描速度；步骤二、将刻痕槽的横截面等分为n层，得到n个刻痕图形；步骤三、将步骤二获取的n个刻痕图形导入扫描振镜的控制系统中；步骤四、装夹膜片；步骤五、开启飞秒激光器，扫描振镜依次扫描步骤三导入的n个刻痕图形，并进行扫描加工；步骤六、直至导入的n个刻痕图形加工完成，从而完成膜片刻痕槽的加工。该方法提升了膜片刻痕槽深的均匀性和膜片阀工作性能的可靠性，进而提升了膜片阀的破裂压力以及流量的一致性。