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一种FOSB包装流水线的贴标装置

摘要

本发明公开了一种FOSB包装流水线的贴标装置,包括整体机架、进料平台、旋转提升平移传送带、顶部装夹装置、ID标签打标剥标装置、警示标签剥标装置、ID标签贴标装置、警示标签贴标装置和拍摄装置,进料平台和旋转提升平移传送带均固定在整体机架上,进料平台设置在旋转提升平移传送带的入口端,顶部装夹装置固定在进料平台和旋转提升平移传送带上方;ID标签打标剥标装置、警示标签剥标装置、警示标签贴标装置和ID标签贴标装置安装在旋转提升平移传送带同一侧的整体机架上;本发明能够自动完成晶圆包装盒的贴标工作,自动化程度高,减少了人力消耗,贴标效率高。

著录项

  • 公开/公告号CN112498884A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-03-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 无锡迪渊特科技有限公司;

    申请/专利号CN202011439683.2

  • 发明设计人 王迪杏;计时鸣;王宁;

    申请日2020-12-10

  • 分类号B65C9/18(20060101);B65C9/46(20060101);B65C9/40(20060101);B65C9/02(20060101);B65B63/00(20060101);B65B65/00(20060101);

  • 代理机构33213 杭州浙科专利事务所(普通合伙);

  • 代理人吴秉中

  • 地址 214315 江苏省无锡市新吴区菱湖大道228号天安智慧城1-805

  • 入库时间 2023-06-19 10:18:07

说明书

技术领域

本发明涉及晶圆包装盒贴标领域,更具体的说,尤其涉及一种FOSB包装流水线的贴标装置。

背景技术

晶圆指的是硅半导体集成电路所制成的硅芯片,由于其形状为圆形,故被称为晶圆,晶圆是生产集成电路所用的载体,一般意义上的晶圆基本上指的是单晶硅圆片,单晶归元片由普通硅砂垃制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一些列错失后支撑单晶硅棒,单晶硅棒经过抛光、切片之后就成了晶圆。随着集成电路制造技术的不断发展,芯片特征尺寸越来越小,互连层数越来越多,晶圆直径也不断增加,要实现多层布线,晶圆表面必须具有极高的平整度、光滑度和清洁度,而为了实现晶圆表面的平整度、光滑度和清洁度,其运输过程中必然不能像普通设备一样随意包装,因此采用专用的晶圆包装盒就显得尤为必要。

晶圆包装盒,又被称为晶圆包装盒(Front Opening Shipping Box),全称前开式晶圆包装盒,可保护、运输并存储晶圆,防止晶圆在运输的过程中发生摩擦或碰撞,为晶圆运输传输及储存时提供安全防护。晶圆包装盒的气密度很好,能够有效防止物质的产生。

晶圆包装盒在运输之前一般需要对其进行包装,晶圆包装前需要在晶圆包装盒上贴上警示标签和ID标签,通常在包装前提要在FOSB的本体上贴一道警示标签和ID标签,在包装后也需要对FOSB的包装袋上贴一道警示标签和ID标签,通过双重标签来保证晶圆包装盒是以合格品状态完成包装和出厂的。传统的晶圆包装盒的贴标往往通过手动贴标来完成,贴标过程太慢;而由于晶圆包装盒本身特殊的结构,使用自动化设备进行贴标时,往往产生几个问题:

1、晶圆包装盒的表面凹凸不平,往往需要在晶圆包装盒固定的位置进行准确贴标,而现有的贴标机无法识别出需要贴标的准确位置。

2、晶圆包装盒贴标往往不限于顶面或侧面,也有可能需要在正面或者背面进行贴标,现有的贴标机不具备多个面进行贴标的功能。

3、晶圆包装盒每一次包装前后都需要贴标不止一次,往往需要同时贴上警示标签和ID标签,这两种标签中警示标签是现成的,ID标签则需要根据晶圆包装盒的ID来实时打印,现有的自动贴标机无法完成同时贴标的功能。

针对上述现有的自动贴标机的各种问题,设计一种专门用于晶圆包装盒的贴标机显得尤为必要。

发明内容

本发明的目的在于解决现有自动贴标机无法满足晶圆包装盒贴标的各种需求的问题,提出了一种FOSB包装流水线的贴标装置,能够自动完成晶圆包装盒的贴标工作,自动化程度高,减少了人力消耗,贴标效率高。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的:一种FOSB包装流水线的贴标装置,包括固定机架、可旋转传送带、ID标签打标剥标装置、警示标签剥标装置、ID标签贴标装置、警示标签贴标装置和贴标检验拍摄装置,所述固定机架底部设置有四个滚动轮和四个支撑脚,能够带动晶圆包装盒旋转的可旋转传送带固定在固定机架上;ID标签打标剥标装置、警示标签剥标装置、警示标签贴标装置和ID标签贴标装置安装在可旋转传送带同一侧的固定机架上,ID标签贴标装置设置在ID标签打标剥标装置的出口处,警示标签贴标装置设置在警示标签剥标装置的出口处;所述贴标检验拍摄装置设置在警示标签剥标装置上,贴标检验拍摄装置的摄像头设置在可旋转传送带的正上方,摄像头正对可旋转传送带上的晶圆包装盒;

所述ID标签打标剥标装置包括第一剥标机外壳、第一标签纸卷筒、第一底纸回卷筒、三角支撑板、出标支撑架、热转印标签打印机、第一回卷电机、第一圆柱导杆、第二圆柱导杆和第三圆柱导杆,所述第一剥标机外壳固定在固定机架上,第一标签纸卷筒、第一底纸回卷筒、三角支撑板、热转印标签打印机、第一回卷电机、第一圆柱导杆、第二圆柱导杆和第三圆柱导杆均设置在第一剥标机外壳内部,所述第一剥标机外壳上设置有ID标签出标口,三角支撑板有一个水平设置的上表面,三角支撑板的部分上表面从ID标签出标口伸出到第一剥标机外壳外;缠绕在第一标签纸卷筒上的ID标签纸508依次绕过第一圆柱导杆的下方、热转印标签打印机、第二圆柱导杆的上方、三角支撑板的上表面、第三圆柱导杆的下方后连接到第一底纸回卷筒上;所述出标支撑架设置在三角支撑板上表面的出口处,所述第二圆柱导杆设置在三角支撑板上表面的入口处,所述第三圆柱导杆设置在三角支撑板下方的第三个拐角处;第一回卷电机连接第一底纸回卷筒并驱动第一底纸回卷筒的转动;所述热转印标签打印机设置在第二圆柱导杆和第三圆柱导杆上方,ID标签纸508穿过热转印标签打印机(507)时热转印标签打印机(507)在ID标签纸508上打印出晶圆包装盒的ID信息;

所述警示标签剥标装置包括横向支架、警示标剥标机外壳、警示标标签纸卷筒、警示标底纸回卷筒、警示标标签上压板、警示标回卷电机、剥标平台和剥标圆柱导杆,所述横向支架水平安装在ID标签贴标装置正上方的固定机架上,警示标剥标机外壳固定在横向支架上,所述警示标回卷电机、警示标标签纸卷筒、警示标底纸回卷筒、警示标标签上压板、剥标平台和剥标圆柱导杆均设置在警示标剥标机外壳内部,剥标圆柱导杆设置在剥标平台下方,警示标标签上压板设置在剥标平台上方,整卷警示标签纸固定套装在能够转动的警示标标签纸卷筒上,警示标签纸的一端依次绕过剥标平台和剥标圆柱导杆后连接到警示标底纸回卷筒上,警示标回卷电机连接警示标底纸回卷筒并驱动警示标底纸回卷筒的转动,所述警示标剥标机外壳设置有出标口,剥标平台的上表面水平设置且剥标平台的前端伸出到警示标剥标机外壳的出标口外侧,所述警示标标签上压板的前端靠近出标口且贴近剥标平台的上表面;

所述ID标签贴标装置包括ID标签水平移动模组、ID标签竖直移动模组、ID标签旋转气缸和大标签真空吸盘,所述ID标签水平移动模组水平固定在固定机架上,ID标签竖直移动模组竖直固定在ID标签水平移动模组的滑块上,ID标签旋转气缸固定在ID标签竖直移动模组的滑块上,所述大标签真空吸盘固定在ID标签旋转气缸的活动头上;

所述警示标签贴标装置包括警示标签水平移动模组、警示标签竖直移动模组、小标签真空吸盘,警示标签水平移动模组水平固定在固定机架上,警示标签竖直移动模组竖直固定在警示标签水平移动模组的滑块上,小标签真空吸盘固定在警示标签竖直移动模组的滑块上。

所述大标签真空吸盘包括吸盘连接板、吸盘上吸板、吸盘下吸板、吸盘密封垫、吸盘海绵吸头和吸盘吸气管道,所述吸盘连接板固定在ID标签旋转气缸的活动头上,吸盘上吸板水平设置且固定在吸盘连接板的底部,吸盘下吸板固定在吸盘上吸板的正下方,所述吸盘上吸板和吸盘下吸板之间设置有吸气腔,吸盘上吸板和吸盘下吸板的吸气腔边缘连接处设置有用于密封的吸盘密封垫,吸盘吸气管道固定在吸盘连接板,吸盘吸气管的下端连接吸盘上吸板并与吸气腔连通,吸盘海绵吸头固定在吸盘下吸板的底部。

进一步的,所述可旋转传送带包括传送带升降装置、传送带平移装置和传送带旋转装置,所述传送带升降装置包括抬升气缸和抬升气缸转接板,抬升气缸转接板固定在抬升气缸的正上方的输出头上,抬升气缸工作时驱动所述抬升气缸转接板上下运动;

所述传送带旋转装置包括传送带轴承座、旋转主轴、电机安装板、旋转主动轮、传送带旋转电机、传送带旋转从动轮、旋转同步带、主轴法兰和上端平板,所述传送带轴承座竖直固定在抬升气缸转接板上,旋转主轴的下端通过两个轴承竖直安装在传送带轴承座内;电机安装板固定在所述传送带轴承座上,电机安装板的中部设置有供旋转主轴穿过的通孔;传送带旋转从动轮通过键固定在旋转主轴上,传送带旋转电机固定在传送带轴承座一侧的电机安装板上,传送带旋转电机的输出端连接旋转主动轮,旋转主动轮和传送带旋转从动轮通过旋转同步带连接,传送带旋转电机工作时通过旋转主动轮、旋转同步带和传送带旋转从动轮构成的同步带机构带动旋转主轴的转动,进而带动固定在旋转主轴上方的上端平板的转动;

进一步的,所述传送带平移装置包括前转轴、后转轴、左侧板、右侧板、第一轴套、第一螺纹齿轮、连接环、平移从动轮、平移主动轮、平移电机、平移同步带、主动轴、第二螺纹齿轮、传动链轮和链条传送带,所述左侧板和右侧板平行设置,左侧板和右侧板分别固定在上端平板的左右两侧,前转轴固定在上端平板的前端,后转轴固定在上端平板的后端,前转轴和后转轴均垂直于左侧板和右侧板设置,前转轴和后转轴的两端分别固定在左侧板和右侧板上;所述前转轴和后转轴的左端分别设置一个左链条轴套,所述前转轴和后转轴的右端分别设置一个右链条轴套,两个左链条轴套上套装有一根链条传送带,两个右链条轴套上套装有一根链条传送带;

所述平移电机固定在传送带轴承座另一侧的电机安装板上,平移电机的输出端连接平移主动轮,所述第一轴套套装在旋转主轴上,所述第一螺纹齿轮、连接环和平移从动轮从上至下依次固定在第一轴套上,平移主动轮和平移从动轮通过平移同步带连接,所述主动轴水平设置且主动轴的轴心线垂直于左侧板和右侧板,所述主动轴的两端分别通过轴承安装在左侧板和右侧板上,第二螺纹齿轮固定在所述主动轴的中部,所述第一螺纹齿轮和第二螺纹齿轮相啮合,所述主动轴的两端分别设置有传动链轮,两条链条传送带分别与主动轴的两端传动链轮相啮合;

所述平移电机工作时通过平移主动轮、平移从动轮和平移同步带构成的同步带机构带动第一轴套、第一螺纹齿轮和连接环组成的整体进行转动,带动与第一螺纹齿轮相啮合的第二螺纹齿轮的转动,进而带动主动轴和两个传动链轮的转动,从而带动两条链条传送带的运动。

进一步的,所述上端平板的底部还设置有两块回转轮轴固定板,回转轮轴固定板平行于左侧板和右侧板设置,左侧板和与左侧板相邻的回转轮轴固定板之间设置有两个回转轮,两个回转轮对称设置在主动轴的两侧,两个回转轮的转向轴两端分别固定在左侧板和回转轮轴固定板上;链条传送带缠绕时依次经过前转轴上的左链条轴套、靠近前转轴的回转轮、传动链轮、靠近后转轴的回转轮和后转轴上的左链条轴套;所述右侧板和与右侧板相邻的回转轮轴固定板上设置也设置有两个回转轮,这两个回转轮的结构与左侧的两个回转轮相对于旋转主轴的轴心线对称设置。

进一步的,所述上端平板上还设置有限位机构,所述限位机构设有关于旋转主轴轴心线镜像设置的一对,所述限位机构包括限位座、限位气缸、夹持旋转片、夹持固定片、夹持旋转轴,所述夹持固定片固定在上端平板的底部,夹持旋转片的中部通过夹持旋转轴连接在夹持固定片上,夹持旋转片的上端伸出到上端平板上方;限位气缸的底部固定在限位座上,限位座固定在上端平板上,限位气缸的输出端铰接在所述夹持旋转片的下端,限位气缸工作时驱动夹持旋转片绕着夹持旋转轴转动,两个限位机构的夹持旋转片的上端实现晶圆包装盒两侧的夹持固定。

进一步的,所述旋转主轴的上端与主轴法兰通过销轴固定连接,主轴法兰通过螺栓固定在上端平板的底面中部。主轴法兰的上端面上设置有一圈螺栓孔,上端平板中部设置有一圈对应的螺栓孔,通过穿过一圈螺栓孔的定位螺栓实现主轴法兰和上端平板的定位。

进一步的,所述上端平板上端设置有多个与晶圆包装盒底部定位柱相对应的定位孔。

进一步的,所述出标支撑架包括底部的出标固定架和两块出标支撑板,两块出标支撑板固定在出标固定架上且两块出标支撑板平行于ID标签运动方向,两块出标支撑板的上端呈刃口状,两块两块出标支撑板上端高度与三角支撑板的上端支撑面齐平。

进一步的,所述出标支撑板采用减摩材料制成。

进一步的,所述ID标签贴标装置的出口处还设置有次品标签回收台和ID标签检测相机,ID标签检测相机设置在出标支撑架的正上方,次品标签回收台设置在出标支撑架一侧。

所述第一回卷电机工作时带动第一底纸回卷筒转动,第一底纸回卷筒转动时带动第一标签纸卷筒上的整卷ID标签纸沿着其缠绕路径运动,整卷ID标签纸上的ID标签是一张张间隔的贴在底纸上的,第一底纸回卷带动底纸往前运动;当贴有ID标签的底纸经过ID标签出标口处的三角支撑板时,先是被第一大标签上压板压在三角支撑板上表面,当ID标签到达三角支撑板的最前端时,底纸沿着斜向下的方向绕过第三圆柱导杆向第一底纸回卷筒运动,同时ID标签从底纸上脱开进入出标支撑架上,由出标支撑架的两个刃面对整张ID标签进行支撑;出标支撑架的两个刃面支撑住ID标签后,ID标签检测相机开始对ID标签进行拍摄并检测ID标签是否合格,如果ID标签合格则由ID标签贴标装置的大标签真空吸盘将ID标签吸住并驱动大标签真空吸盘移动到晶圆包装盒的对应位置,将ID标签粘贴到晶圆包装盒上;若是ID标签不合格则驱动大标签真空吸盘移动到次品标签回收台上直接将ID标签粘贴到次品标签回收台上。

进一步的,剥标平台的上表面伸出出标口的长度为警示标宽度的20%~40%,所述剥标平台伸出出标口的部分的厚度随着伸出出标口的距离逐渐减小,剥标平台的最前端呈锐角状。

进一步的,警示标回卷电机工作时带动警示标底纸回卷筒转动,从而带动警示标签纸上的警示标向出标口方向一定,警示标签纸上的警示标在经过剥标平台时上方被警示标标签上压板压住,剥标平台上方的底纸在经过剥标平台最前端时以斜向下的方向向剥标圆柱导杆移动,底纸突然的转向会导致警示标逐渐与底纸分离开,直至警示标仅剩小部分粘在底纸上,此时停止警示标回卷电机工作,警示标签贴标装置的警示标签水平移动模组和警示标签竖直移动模组驱动小标签真空吸盘到警示标的正上方,小标签真空吸盘将警示标吸住,警示标签竖直移动模组驱动小标签真空吸盘上移的同时带动警示标离开底纸上,警示标签水平移动模组再驱动小标签真空吸盘移动到晶圆包装盒需要贴警示标位置的正上方,标签竖直移动模组驱动小标签真空吸盘下降直至将警示标贴到晶圆包装盒的对应位置上,标签竖直移动模组和警示标签水平移动模组复位,完成整个警示标贴标过程。

进一步的,所述吸盘下吸板和吸盘海绵吸头设置有多个均匀分布的吸气口。吸盘下吸板和吸盘海绵吸头上的吸气口一一对应设置。

进一步的,所述小标签真空吸盘包括小吸盘固定座和竖直安装在小吸盘固定座上的小气动吸盘,所述小吸盘固定座通过螺栓固定在警示标签竖直移动模组的滑块上。

本发明的有益效果在于:

1、本发明能够自动完成晶圆包装盒的贴标工作,自动化程度高,减少了人力消耗,贴标效率高。

2、本发明所采用的整卷ID标签纸上的ID标签是一张一张间隔贴在ID标签纸的底纸上的,配合ID标签打标剥标装置前端的三角支撑板出口处的锐角,能够使ID标签顺利的从ID标签纸的底纸脱离进入到出标支撑架上,从而实现ID标签的自动剥离,提高了贴ID标签的效率。

3、本发明的ID标签采用大标签真空吸盘吸附的方式,ID标签从ID标签打标剥标装置中出来后位于减磨材料制成的出标支撑架的两块刃口上,能够防止ID标签底部与出标支撑架的粘粘,保证ID标签能够顺利粘贴的同时不会出现褶皱,提高了ID标签的贴标质量。

4、本发明在ID标签打标剥标装置内设置热转印标签打印装置,热转印标签打印装置固定在ID标签纸的底纸运动路径上并对路过的底纸上的ID标签进行打印,同时通过ID标签检测相机对打印出来的ID标签进行拍照检测,能够实现实时打印ID标签的同时也能检测ID标签的质量,提高了ID标签的贴标质量。

5、本发明在ID标签贴标装置的出口处还设置有次品标签回收台,利用ID标签检测相机检测到ID标签废品后可以利用ID标签贴标装置将ID标签废品直接粘贴到次品标签回收台上,实现ID标签废品的快速回收,提高了整体的贴标效率。

6、本发明的警示标签剥标装置利用剥标平台出口处的锐角实现警示标签自动从底纸上剥离,警示标签剥离底纸后留有一小段粘在底纸上,由于警示标签的尺寸较小,即便是大部分脱离底纸后依然能保证不会产生褶皱,再利用小标签真空吸盘对警示标签的吸附,能实现警示标签的快速贴标。

7、本发明采用了可旋转传送带,能够对晶圆包装盒进行旋转,从而对晶圆包装盒各个表面的贴标进行配合,能够有效提高贴标的效率。

8、本发明采用了可旋转传送带,旋转提升平台不仅能够在水平方向上传送晶圆包装盒,还能够实现竖直方向的升降和旋转,从而使不同工序的旋转提升平台进行对接,使得本装置能够和前后各工位更加顺畅的运输晶圆包装盒。

9、本发明的可旋转传送带设置有限位机构,能够夹持晶圆包装盒的两侧,使得晶圆包装盒在运输时更加的稳定,不会随着运输时的机械颤抖而产生位置变化;同时采用链条传送带和传动链轮相配合传动的方式,利用回转轮进行支撑限位,使得整个传动过程更加平稳可靠。

10、本发明的可旋转传送带可应用于多工位的晶圆包装盒包装运输,晶圆包装盒包装运输的各工位之间衔接紧密,各工位的传送机构往往相邻设置且相互之间的间距很短,在需要进行转角运输时可以通过先提升在转动最后下降衔接的方式实现晶圆包装盒运输的对接,能够更好的适应各工位的晶圆包装盒运输。

11、本发明的可旋转传送带整体结构紧凑,将整个驱动结构设置在上端平板的下方,占地面积小的同时能够完成晶圆包装盒的多种动作,使晶圆包装盒在不同工序之间的衔接更加顺畅,能够极大提升晶圆包装盒生产线的包装各工序之间的晶圆包装盒运输定位。

12、本发明的可旋转传送带采用抬升气缸实现晶圆包装盒的升降,平移电机实现晶圆包装盒的平移,旋转电机实现晶圆包装盒的旋转,平移电机和旋转电机设置在抬升气缸驱动的电机安装板上,晶圆包装盒的升降、平移和旋转过程中平移电机和旋转电机只进行升降运动不进行旋转和平移运动,避免了整个工作过程的线路缠绕干涉。

附图说明

图1是本发明一种FOSB包装流水线的贴标装置的整体结构示意图。

图2是本发明一种FOSB包装流水线的贴标装置的主视图。

图3是本发明一种FOSB包装流水线的贴标装置的右视图。

图4是本发明晶圆包装盒的结构示意图。

图5是本发明本发明可旋转传送带的轴测图。

图6是本发明可旋转传送带另一个角度的轴测图。

图7是本发明可旋转传送带的主视图。

图8是本发明可旋转传送带的后视图。

图9是本发明可旋转传送带的左视图。

图10是本发明可旋转传送带的右视图。

图11是本发明可旋转传送带的俯视图。

图12是本发明可旋转传送带的仰视图。

图13是本发明ID标签贴标装置的结构示意图。

图14是本发明警示标签贴标装置的结构示意图。

图15是本发明ID标签打标剥标装置的轴测图

图16是本发明ID标签打标剥标装置的主视图。

图17是本发明警示标签贴标装置的轴测图。

图18是本发明警示标签贴标装置的主视图。

图19是本发明贴标检验拍摄装置的结构示意图。

图20是本发明大标签真空吸盘的轴测图。

图21是本发明大标签真空吸盘的主视图。

图中,1-固定机架、2-滚动轮、3-可旋转传送带、4-支撑脚、5-ID标签打标剥标装置、6-警示标签剥标装置、7-ID标签贴标装置、8-警示标签贴标装置、9-贴标检验拍摄装置、10-晶圆包装盒、301-抬升气缸、302-抬升气缸转接板、303-传送带轴承座、304-旋转主轴、305-电机安装板、306-传送带旋转电机、307-旋转主动轮、308-传送带旋转从动轮、309-主轴法兰、310-上端平板、311-前转轴、312-后转轴、313-左侧板、314-右侧板、315-第一轴套、316-第一螺纹齿轮、317-连接环、318-平移从动轮、319-平移主动轮、320-平移电机、321-主动轴、322-第二螺纹齿轮、323-左链条轴套、324-链条传送带、325-回转轮轴固定板、326-回转轮、327-右链条轴套、328-限位气缸、329-夹持旋转片、330-夹持旋转轴、501-第一剥标机外壳、502-第一标签纸卷筒、503-第一底纸回卷筒、504-三角支撑板、505-出标支撑架、506-第三圆柱导杆、507-热转印标签打印装置、508-ID标签纸、509-第一张紧圆柱导杆、510-第二圆柱导杆、511-次品标签回收台、512-支撑架底座、601-横向支架、602-警示标剥标机外壳、603-警示标标签纸卷筒、604-警示标底纸回卷筒、605-警示标标签上压板、606-第二张紧圆柱导杆、607-剥标平台、608-警示标支撑刀架、701-ID标签水平移动模组、702-ID标签竖直移动模组、703-ID标签旋转气缸、704-大标签真空吸盘、、7041-吸盘连接板、7042-吸盘上吸板、7043-吸盘下吸板、7044-吸盘密封垫、7045-吸盘海绵吸头、7046-吸盘吸气管道、801-警示标签水平移动模组、802-警示标签竖直移动模组、803-小标签真空吸盘、901-摄像头、902-摄像头支架。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明:

如图1~19所示,一种FOSB包装流水线的贴标装置,包括固定机架1、可旋转传送带3、ID标签打标剥标装置5、警示标签剥标装置6、ID标签贴标装置7、警示标签贴标装置8和贴标检验拍摄装置9,所述固定机架1底部设置有四个滚动轮2和四个支撑脚4,在移动时,将四个支撑脚4收起并通过四个滚动轮2推动固定机架1的移动;在移动完毕后,将四个支撑脚4放下,四个支撑脚4均为可通过旋钮调整高度的支撑脚。

能够带动晶圆包装盒10旋转的可旋转传送带3固定在固定机架1上;ID标签打标剥标装置5、警示标签剥标装置6、警示标签贴标装置8和ID标签贴标装置7安装在可旋转传送带3同一侧的固定机架1上,ID标签贴标装置7设置在ID标签打标剥标装置5的出口处,警示标签贴标装置8设置在警示标签剥标装置6的出口处;所述贴标检验拍摄装置9设置在警示标签剥标装置6上,贴标检验拍摄装置9的摄像头901设置在可旋转传送带3的正上方,摄像头901正对可旋转传送带3上的晶圆包装盒10。摄像头901通过摄像头支架902固定在固定机架1上。所述贴标检验拍摄装置9设置在警示标签剥标装置6上,贴标检验拍摄装置9的摄像头设置在可旋转传送带3的正上方,摄像头正对可旋转传送带3上的晶圆包装盒10。

ID标签打标剥标装置5用于打印晶圆包装盒的ID标签并将ID标签从底纸上剥开,方便ID标签贴标装置7将ID标签吸住并贴到晶圆包装盒上,警示标签剥标装置6用于将警示标签从底纸上剥开,方便警示标签贴标装置8将警示标签吸住并贴到晶圆包装盒上。在空间分布上警示标签剥标装置6设置在ID标签打标剥标装置5的正上方,ID标签贴标装置7贴近ID标签打标剥标装置5,警示标签贴标装置8贴近警示标签剥标装置6,且ID标签贴标装置7和警示标签贴标装置8相互之间运动时不会发射干涉,二者有足够的自由运动空间,都能够在移动时将各自吸附的标签移动到晶圆包装盒附近。其中警示标签贴标装置8将警示标贴在晶圆包装盒的顶面,ID标签贴标装置7将ID标签贴在晶圆包装盒的顶面或侧面上。

可旋转传送带3的进料通常是通过人工手工上料来进行的,也可以通过传送带传送过来,例如上一工位也使用可旋转传送带3来传送物料,通过可旋转传送带3的平移来实现晶圆包装盒在工位间的传递。

所述ID标签打标剥标装置5包括第一剥标机外壳501、第一标签纸卷筒502、第一底纸回卷筒503、三角支撑板504、出标支撑架505、热转印标签打印机507、第一回卷电机、第一张紧圆柱导杆509、第二圆柱导杆510和第三圆柱导杆506,所述第一剥标机外壳501固定在固定机架1上,第一标签纸卷筒502、第一底纸回卷筒503、三角支撑板504、热转印标签打印机507、第一回卷电机、第一张紧圆柱导杆509、第二圆柱导杆510和第三圆柱导杆506均设置在第一剥标机外壳501内部,所述第一剥标机外壳501上设置有ID标签出标口,三角支撑板504有一个水平设置的上表面,三角支撑板504的部分上表面从ID标签出标口伸出到第一剥标机外壳501外;缠绕在第一标签纸卷筒502上的ID标签纸508依次绕过第一张紧圆柱导杆509的下方、热转印标签打印机507、第二圆柱导杆510的上方、三角支撑板504的上表面、第三圆柱导杆506的下方后连接到第一底纸回卷筒503上;所述出标支撑架505设置在三角支撑板504上表面的出口处,所述第二圆柱导杆510设置在三角支撑板504上表面的入口处,所述第三圆柱导杆506设置在三角支撑板504下方的第三个拐角处;第一回卷电机连接第一底纸回卷筒503并驱动第一底纸回卷筒503的转动;所述热转印标签打印机507设置在第二圆柱导杆510和第三圆柱导杆506上方,ID标签纸508穿过热转印标签打印机507时热转印标签打印机507在ID标签纸508上打印出晶圆包装盒的ID信息。

三角支撑板504的上表面的出口端为ID标签纸508的剥离位置,三角支撑板504上表面的出口端与出标支撑架505相互靠近,二者之间有着供ID标签纸508穿过的细缝,ID标签纸508经过细缝是底纸顺着细缝穿过,而ID标签纸508由于本身具有着一定的硬度,ID标签会从底纸上脱离进入出标支撑架505的上方,从而实现ID标签纸508上ID标签和底纸的分离。由于ID标签并不固定,所以需要热转印标签打印机507来打印ID标签上的ID信息。

所述警示标签剥标装置6包括横向支架601、警示标剥标机外壳602、警示标标签纸卷筒603、警示标底纸回卷筒604、警示标标签上压板605、警示标回卷电机、剥标平台607和第二张紧圆柱导杆606,所述横向支架601水平安装在ID标签贴标装置7正上方的固定机架1上,警示标剥标机外壳602固定在横向支架601上,所述警示标回卷电机、警示标标签纸卷筒603、警示标底纸回卷筒604、警示标标签上压板605、剥标平台607和第二张紧圆柱导杆606均设置在警示标剥标机外壳602内部,第二张紧圆柱导杆606设置在剥标平台607下方,警示标标签上压板605设置在剥标平台607上方,整卷警示标签纸固定套装在能够转动的警示标标签纸卷筒603上,警示标签纸的一端依次绕过剥标平台607和第二张紧圆柱导杆606后连接到警示标底纸回卷筒604上,警示标回卷电机连接警示标底纸回卷筒604并驱动警示标底纸回卷筒604的转动,所述警示标剥标机外壳602设置有出标口,剥标平台607的上表面水平设置且剥标平台607的前端伸出到警示标警示标剥标机外壳602的出标口外侧,所述警示标标签上压板605的前端靠近出标口且贴近剥标平台607的上表面。

警示标剥标机外壳602还设置有警示标支撑刀架608,警示标支撑刀架608竖直设置在剥标平台607的出口处且其刀口朝上,警示标支撑刀架608的上表面为减磨材料制成的平行于警示标移动方向设置的刀口。

由于警示标签为固定标签,所以不需要打印。警示标签纸经过剥标平台607的出口端时,警示标签纸的底纸向下急转绕向第二张紧圆柱导杆606,而警示标会因为其具有一定的硬度从底纸上脱开继续向前运动,从而支撑在警示标支撑刀架608,警示标脱离底纸时仅脱离2/3即可,剩下一部分继续粘在底纸上,之后再被警示标签贴标装置8吸附带走。

所述ID标签贴标装置7包括ID标签水平移动模组701、ID标签竖直移动模组702、ID标签旋转气缸703和大标签真空吸盘704,所述ID标签水平移动模组701水平固定在固定机架1上,ID标签竖直移动模组702竖直固定在ID标签水平移动模组701的滑块上,ID标签旋转气缸703固定在ID标签竖直移动模组702的滑块上,所述大标签真空吸盘704固定在ID标签旋转气缸703的活动头上。

所述警示标签贴标装置8包括警示标签水平移动模组801、警示标签竖直移动模组802、小标签真空吸盘803,警示标签水平移动模组801水平固定在固定机架1上,警示标签竖直移动模组802竖直固定在警示标签水平移动模组801的滑块上,小标签真空吸盘803固定在警示标签竖直移动模组802的滑块上。

所述可旋转传送带包括传送带升降装置、传送带平移装置和传送带旋转装置,所述传送带升降装置包括抬升气缸301和抬升气缸转接板302,抬升气缸转接板302固定在抬升气缸301的正上方的输出头上,抬升气缸301工作时驱动所述抬升气缸转接板302上下运动。

所述传送带旋转装置包括传送带轴承座303、旋转主轴304、电机安装板305、旋转主动轮307、传送带旋转电机306、传送带旋转从动轮308、旋转同步带、主轴法兰309和上端平板310,所述传送带轴承座303竖直固定在抬升气缸转接板302上,旋转主轴304的下端通过两个轴承竖直安装在传送带轴承座303内;电机安装板305固定在所述传送带轴承座303上,电机安装板305的中部设置有供旋转主轴304穿过的通孔;传送带旋转从动轮308通过键固定在旋转主轴304上,传送带旋转电机306固定在传送带轴承座303一侧的电机安装板305上,传送带旋转电机306的输出端连接旋转主动轮307,旋转主动轮307和传送带旋转从动轮308通过旋转同步带连接,传送带旋转电机306工作时通过旋转主动轮307、旋转同步带和传送带旋转从动轮308构成的同步带机构带动旋转主轴304的转动,进而带动固定在旋转主轴304上方的上端平板310的转动。

所述传送带平移装置包括前转轴311、后转轴312、左侧板313、右侧板314、第一轴套315、第一螺纹齿轮316、连接环317、平移从动轮318、平移主动轮319、平移电机320、平移同步带、主动轴321、第二螺纹齿轮322、传动链轮和链条传送带,所述左侧板313和右侧板314平行设置,左侧板313和右侧板314分别固定在上端平板310的左右两侧,前转轴311固定在上端平板310的前端,后转轴312固定在上端平板310的后端,前转轴311和后转轴312均垂直于左侧板313和右侧板314设置,前转轴311和后转轴312的两端分别固定在左侧板313和右侧板314上;所述前转轴311和后转轴312的左端分别设置一个左链条轴套323,所述前转轴311和后转轴312的右端分别设置一个右链条轴套327,两个左链条轴套323上套装有一根链条传送带,两个右链条轴套327上套装有一根链条传送带。

所述平移电机320固定在传送带轴承座303另一侧的电机安装板305上,平移电机320的输出端连接平移主动轮319,所述第一轴套315套装在旋转主轴304上,所述第一螺纹齿轮316、连接环317和平移从动轮318从上至下依次固定在第一轴套315上,平移主动轮319和平移从动轮318通过平移同步带连接,所述主动轴321水平设置且主动轴321的轴心线垂直于左侧板313和右侧板314,所述主动轴321的两端分别通过轴承安装在左侧板313和右侧板314上,第二螺纹齿轮322固定在所述主动轴321的中部,所述第一螺纹齿轮316和第二螺纹齿轮322相啮合,所述主动轴321的两端分别设置有传动链轮,两条链条传送带分别与主动轴321的两端传动链轮相啮合。

所述平移电机320工作时通过平移主动轮319、平移从动轮318和平移同步带构成的同步带机构带动第一轴套315、第一螺纹齿轮316和连接环317组成的整体进行转动,带动与第一螺纹齿轮316相啮合的第二螺纹齿轮322的转动,进而带动主动轴321和两个传动链轮的转动,从而带动两条链条传送带的运动。

所述上端平板310的底部还设置有两块回转轮轴固定板325,回转轮轴固定板325平行于左侧板313和右侧板314设置,左侧板313和与左侧板313相邻的回转轮轴固定板325之间设置有两个回转轮326,两个回转轮326对称设置在主动轴321的两侧,两个回转轮326的转向轴两端分别固定在左侧板313和回转轮轴固定板325上;链条传送带缠绕时依次经过前转轴311上的左链条轴套323、靠近前转轴311的回转轮326、传动链轮、靠近后转轴312的回转轮326和后转轴312上的左链条轴套323;所述右侧板314和与右侧板314相邻的回转轮轴固定板325上设置也设置有两个回转轮326,这两个回转轮326的结构与左侧的两个回转轮326相对于旋转主轴304的轴心线对称设置。

所述上端平板310上还设置有限位机构,所述限位机构设有关于旋转主轴304轴心线镜像设置的一对,所述限位机构包括限位座、限位气缸328、夹持旋转片329、夹持固定片、夹持旋转轴330,所述夹持固定片固定在上端平板310的底部,夹持旋转片329的中部通过夹持旋转轴330连接在夹持固定片上,夹持旋转片329的上端伸出到上端平板310上方;限位气缸328的底部固定在限位座上,限位座固定在上端平板310上,限位气缸328的输出端铰接在所述夹持旋转片329的下端,限位气缸328工作时驱动夹持旋转片329绕着夹持旋转轴330转动,两个限位机构的夹持旋转片329的上端实现FOSB两侧的夹持固定。

所述旋转主轴304的上端与主轴法兰309通过销轴固定连接,主轴法兰309通过螺栓固定在上端平板310的底面中部。主轴法兰309的上端面上设置有一圈螺栓孔,上端平板310中部设置有一圈对应的螺栓孔,通过穿过一圈螺栓孔的定位螺栓实现主轴法兰309和上端平板310的定位。

可旋转传送带3的具体工作流程如下:具体工作时,晶圆包装盒的升降通过传送带升降装置来实现,抬升气缸301工作时驱动抬升气缸转接板302上下运动;晶圆包装盒的旋转通过传送带旋转装置来实现,传送带旋转电机306工作时通过旋转主动轮307、旋转同步带和传送带旋转从动轮308构成的同步带机构带动旋转主轴304的转动,进而带动固定在旋转主轴304上方的上端平板310的转动,晶圆包装盒的平移通过传送带平移装置来实现,平移电机320工作时通过平移主动轮319、传送带平移从动轮318和平移同步带构成的同步带机构带动第一轴套315、第一螺纹齿轮316和连接环317组成的整体进行转动,带动与第一螺纹齿轮316相啮合的第二螺纹齿轮322的转动,进而带动主动轴321和两个传动链轮的转动,从而带动两条链条传送带324的运动,在晶圆包装盒贴标签的操作中,可能需要对不止一个侧面进行贴标的操作,这时候就需要使得晶圆包装盒能够旋转,从而使得晶圆包装盒的侧面处于可贴标位置,而在加工完毕后,将晶圆包装带送到下一个工位是需要用到传送带旋转装置进行水平传输;如果下一个工位采用与可旋转传送带3相同的机构作为传输机构,则需要利用传送带升降装置将传送带平移装置上升后旋转90度再与下一个工位的可旋转传送带3进行对接。

所述出标支撑架505包括底部的出标固定架和两块出标支撑板,两块出标支撑板固定在出标固定架上且两块出标支撑板平行于ID标签运动方向,两块出标支撑板的上端呈刃口状,两块两块出标支撑板上端高度与三角支撑板504的上端支撑面齐平。

所述出标支撑板采用减摩材料制成。

所述ID标签贴标装置7的出口处还设置有次品标签回收台511和ID标签检测相机,ID标签检测相机设置在出标支撑架505的正上方,次品标签回收台511设置在出标支撑架505一侧,出标支撑架505和次品标签回收台511均通过螺栓固定在支撑架底座512上,支撑架底座512通过螺栓固定在固定机架1上。

所述ID标签打标剥标装置5的第一剥标机外壳501内部还设置有热转印标签打印装置508,热转印标签打印装置508固定在ID标签纸508的底纸运动路径上并对路过的底纸上的ID标签进行打印。

剥标平台607的上表面伸出出标口的长度为警示标宽度的20%~40%,所述剥标平台607伸出出标口的部分的厚度随着伸出出标口的距离逐渐减小,剥标平台607的最前端呈锐角状。

所述大标签真空吸盘704包括吸盘连接板7041、吸盘上吸板7042、吸盘下吸板7043、吸盘密封垫7044、吸盘海绵吸头7045和吸盘吸气管道7046,所述吸盘连接板7041固定在ID标签旋转气缸703的活动头上,吸盘上吸板7042水平设置且固定在吸盘连接板7041的底部,吸盘下吸板7043固定在吸盘上吸板7042的正下方,所述吸盘上吸板7042和吸盘下吸板7043之间设置有吸气腔,吸盘上吸板7042和吸盘下吸板7043的吸气腔边缘连接处设置有用于密封的吸盘密封垫7044,吸盘吸气管道7046固定在吸盘连接板7041,吸盘吸气管的下端连接吸盘上吸板7042并与吸气腔连通,吸盘海绵吸头7045固定在吸盘下吸板7043的底部。

所述吸盘下吸板7043和吸盘海绵吸头7045设置有多个均匀分布的吸气口。

所述小标签真空吸盘803包括小吸盘固定座和竖直安装在小吸盘固定座上的小气动吸盘,所述小吸盘固定座通过螺栓固定在警示标签竖直移动模组802的滑块上。

上述实施例只是本发明的较佳实施例,并不是对本发明技术方案的限制,只要是不经过创造性劳动即可在上述实施例的基础上实现的技术方案,均应视为落入本发明专利的权利保护范围内。

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