一种测量宏观界面间相互作用的装置及其方法

摘要

本发明公开了一种测量宏观界面间相互作用的装置及其方法。该装置包括力学传感模块、空间位移模块、前置放大模块、信号产生与解调模块以及控制模块，力学传感模块固定在空间位移模块上，作为探针；力学传感模块的输入端与信号产生与解调模块连接，其输出端与前置放大模块连接；前置放大模块与信号产生与解调模块连接；空间位移模块分别与控制模块、信号产生与解调模块连接；力学传感模块包括石英压电振子，石英压电振子的一端固定有亚毫米或者毫米级的微结构。本发明的力学测量精度可达到皮牛量级，可应用于微纳尺度至毫米尺度结构界面间相互作用的精确检测。