公开/公告号CN112505999A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-16
原文格式PDF
申请/专利权人 信越化学工业株式会社;
申请/专利号CN202010951398.2
申请日2020-09-11
分类号G03F1/24(20120101);G03F1/54(20120101);G03F1/80(20120101);G03F1/72(20120101);
代理机构11038 中国贸促会专利商标事务所有限公司;
代理人李跃龙
地址 日本东京
入库时间 2023-06-19 10:16:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-09
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/24 专利申请号:2020109513982 申请日:20200911
实质审查的生效
机译: 具有多层反射膜的基板,反射性掩模和反射性掩模,掩模空白和掩模,制造具有多层反射性膜的基板的方法,制造反射性掩模空白的方法以及制造掩模的方法
机译: 制造反射性掩模坯的方法,反射性掩模坯,制造反射性掩模的方法,反射性掩模以及制造半导体装置的方法
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