一种对原子核成像的显微方法

摘要

本发明提供了一种对原子核成像的显微方法，包括以下步骤：使用能谱仪或电子能量损失谱仪对样品的观察区域进行面扫，得到X光能量或电子能量损失的面扫数据；获得所述观察区域内的能谱(EDS)或电子能量损失谱(EELS)；选择所述EDS或EELS中的一段或多段无特征峰干扰能量范围，其中，所述无特征峰干扰能量范围是指其中特征峰强度对谱线强度的影响低于1％的能量范围；以及基于所述面扫数据，针对所述一段或多段无特征峰干扰能量范围内的能量在所述观察区域内作累积强度分布图，以得到所述样品的所述观察区域中的原子的原子核像。本发明的显微方法实现了用光学或电子束损失的能量对原子核进行成像观察。