一种厚膜型KrF光刻胶组合物，其制备方法及应用

摘要

本发明公开了一种厚膜型KrF光刻胶组合物，其制备方法及应用。本发明的光刻胶组合物的制备方法包括以下步骤：将光刻胶组合物中的各个组分混合均匀，即可；所述的光刻胶组合物包括以下组分：光致产酸剂、树脂和溶剂。通过本发明的制备方法制得的光刻胶组合物形成的胶膜具有好的性能，具有好的应用前景。