一种空间三结砷化镓太阳电池用三层减反射膜及其制备方法

摘要

一种空间三结砷化镓太阳电池用三层减反射膜及其制备方法，所述三层减反射膜包括：钛的氧化物薄膜、二氧化铪薄膜和三氧化二铝薄膜，其中，所述钛的氧化物薄膜、所述二氧化铪薄膜和所述三氧化二铝薄膜从下至上依次堆叠设置于所述空间三结砷化镓太阳电池上。本发明提供的一种空间三结砷化镓太阳电池用三层减反射膜及其制备方法，三层减反射膜与盖片胶的折射率相匹配，能够减少太阳电池组合成CIC组件后的反射损失；经过对样品进行实际测量，在320nm～400nm波段内三层减反射膜太阳电池CIC组件的平均反射率可比双层减反射膜太阳电池CIC组件降低3.80％，从而有效增加了CIC组件的转换效率；Al2O3、HfO2和Ti2O3均为空间环境中常用的膜层材料，具有良好的空间环境耐受性。