公开/公告号CN112469851A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-09
原文格式PDF
申请/专利权人 环球晶圆股份有限公司;
申请/专利号CN201980043763.5
发明设计人 卡瑞喜玛·玛莉·哈德森;J·柳;
申请日2019-06-25
分类号C30B15/20(20060101);C30B29/06(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人江葳
地址 中国台湾新竹市科学工业园区工业东二路8号
入库时间 2023-06-19 10:08:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-12-02
授权
发明专利权授予
机译: 多个样品杆的生长,以确定单晶硅锭制造过程中杂质的积累
机译: 确定单晶硅锭生产过程中固结杂质的多倍样品棒的生长
机译: 确定单晶硅锭生产过程中固结杂质的多倍样品棒的生长