法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-02-24
授权
发明专利权授予
机译: 球形物体表面测量和评估方法,其中将基本呈螺旋形的图案投射到要测量的物体表面上,然后用照相机对其进行成像
机译: 用于倾斜表面轮廓测量的莫尔条纹系统-通过第一个非对称光栅投射光束以在物体表面上形成光图案,在具有相同光栅常数的阴影光栅上成像并用相机检测强度以评估分布
机译: 用于对半导体晶片结构成像的微光刻的投射照明系统的投射透镜的组件,具有评估装置,该评估装置确定掩模和传感器的移动自由度的调整参数