公开/公告号CN112427226A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-02
原文格式PDF
申请/专利权人 紫旸升光电科技(苏州)有限公司;
申请/专利号CN202011251856.8
申请日2020-11-11
分类号B05C1/08(20060101);B05C1/10(20060101);B05C9/12(20060101);B05C13/02(20060101);B05D1/28(20060101);
代理机构44634 深圳荷盛弼泉专利代理事务所(普通合伙);
代理人姜成康
地址 215128 江苏省苏州市吴中区宝带东路323-2室
入库时间 2023-06-19 10:05:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-17
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B05C 1/08 专利申请号:2020112518568 申请公布日:20210302
发明专利申请公布后的驳回
机译: 光刻胶涂布液供应装置,使用该光刻胶涂布液供应装置的光刻胶涂布液和光刻胶涂布装置
机译: 它开始从光刻胶涂布液进料器和光刻胶涂布液的供应方式中抽取部分光刻胶涂布液以及缓冲液
机译: 热熔胶涂布方法及热熔胶涂布装置