公开/公告号CN112382688A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-19
原文格式PDF
申请/专利权人 华南师范大学;
申请/专利号CN202011106989.6
申请日2020-10-16
分类号H01L31/105(20060101);H01L31/0336(20060101);H01L31/0352(20060101);H01L31/0392(20060101);H01L31/18(20060101);
代理机构44493 广州专理知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张凤
地址 510000 广东省广州市华南师范大学半导体科学技术研究院
入库时间 2023-06-19 09:55:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-11-04
授权
发明专利权授予
机译: 外延晶片,制造基于氮化镓的半导体器件的方法,基于氮化镓的半导体器件和氧化镓晶片
机译: 表皮晶片,基于氮化镓的半导体器件的制造方法,基于氮化镓的半导体器件以及氧化镓晶片
机译: 氧化镓单晶复合材料,其制备方法以及利用氧化镓单晶复合物制备氮化物半导体膜的方法