一种XY运动台及运动装置

摘要

本发明属于集成电路制备技术领域，公开了一种XY运动台及运动装置。XY运动台包括：基座，其具有与XY平面平行的基准面；两个X向导轨单元，固设于基准面上且沿X方向延伸；Y向导轨单元，其沿Y方向延伸，两端分别与两个X向导轨单元滑动连接；安装件，其与Y向导轨单元滑动连接；气足，其与安装件连接，气足具有吸附于基准面上的第一状态和气浮支承于基准面上的第二状态；X向驱动装置，用于驱动Y向导轨单元沿X方向运动；Y向驱动装置，用于驱动安装件沿Y方向运动。运动装置包括微动台和上述XY运动台，微动台连接于安装面。本发明提供的XY运动台和运动装置，具有较好地平面动态性能，且能够适应于较高的运行速度和运动加速度。