一种高纯、高致密度三氧化钼靶材的制备方法

摘要

本发明公开了一种高纯、高致密度三氧化钼靶材的制备方法，具体按照如下步骤实施：步骤1，将钼酸铵进行焙解处理，得到高纯三氧化钼；步骤2，将步骤1得到的高纯三氧化钼粉末装入模具内，进行气氛保护热压处理，得到高致密度三氧化钼坯料；步骤3，将步骤2得到的高致密度三氧化钼坯料在空气氛马弗炉内进行二次补氧；步骤4，将经过二次补氧处理的坯料进行机械加工和清洗，最终得到高纯三氧化钼靶材。本发明一种高纯、高致密度三氧化钼靶材的制备方法，能获得高纯度以及高致密度的三氧化钼靶材。