微纳米通道结构、传感器及其制备方法、微流体装置

摘要

一种微纳米通道结构(20)、微纳米通道结构(20)的制备方法、传感器(2)、传感器(2)的制备方法和微流体装置(40)。该微纳米通道结构(20)包括：衬底基板(21)；基底层(22)，在衬底基板(21)上且包括多个突起(26)；通道壁层(23)，在多个突起(26)的远离衬底基板(21)的一侧，且通道壁层(23)中具有微纳米通道(24)；其中，多个突起(26)中相邻的突起(26)之间具有凹陷部(27)，微纳米通道(24)在衬底基板(21)上的正投影位于凹陷部(27)在衬底基板(21)上的正投影内。该微纳米通道(24)具有高分辨率或超高分辨率且可以具有不同的尺寸和形状，从而可以适用于实际应用中的不同需求，同时节省了工艺步骤，节约了生产成本。