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包括冷却装置的加热器组件及其使用方法

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本发明公开了一种用于将前体源容器加热器维持在所需温度的冷却装置和方法。所述装置和方法可用于在前体源容器内维持所需温度梯度，以在将前体递送到反应室之前改善前体源的完整性。所述装置和方法还可以用于快速冷却源容器以用于维护。

著录项

公开/公告号CN112342526A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-09

原文格式PDF
申请/专利权人 ASM IP私人控股有限公司;
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申请/专利号CN202010729771.X
发明设计人 C.L.怀特;E.J.谢罗;K.方杜鲁利亚;T.J.苏利范;
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申请日2020-07-27
分类号C23C16/44(20060101);C23C16/455(20060101);C23C16/52(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人焦玉恒
地址荷兰阿尔梅勒
入库时间 2023-06-19 09:51:02

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-08-12

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/44 专利申请号:202010729771X 申请日:20200727

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