一种二维材料增敏的表面等离子体共振传感器芯片

摘要

本发明涉及光学传感器芯片技术领域，尤其涉及一种二维材料增敏的表面等离子体共振传感器芯片，包括：高折射率棱镜、镍膜、二维材料BlueP/WS2、分析物；所述高折射率棱镜、镍膜、二维材料BlueP/WS2、分析物由下而上依次排列形成复合结构，本发明灵敏度有了极大的提高，适用于各种结构的表面等离子体传感器。