法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-10-27
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G02B27/28 专利申请号:2020112231905 申请公布日:20210205
发明专利申请公布后的驳回
机译: 将激光束转换为类似EUV射线的X射线的方法是使用振幅/相位调制的亚纳秒脉冲来产生具有高辐射转换效率的等离子体,并由激光束产生。
机译: 能够以高转换效率产生谐波激光束的固态激光装置
机译: 产生激光束高次谐波的装置,使用相同光束的曝光装置,产生激光束高次谐波的方法,使用相同光束的曝光方法以及使用相同光束的器件制造方法