一种利用入瞳差分平场矫正检测镜头洁净度的方法

摘要

本发明公开了一种利用入瞳差分平场矫正检测镜头洁净度的方法，包括如下步骤：一、搭建平场测试光路；二、在待测镜头和单色相机之间设有可调入瞳，测量不同孔径入瞳下的明场图像数据和暗场图像数据；三、针对每个像素，进行入瞳差分平场校正运算；四、将各个像素的入瞳差分结果的矩阵以图像形式显示，进行镜头洁净度的判断。本发明利用不同入瞳进行差分平场矫正，可以抑制大角度视场低相对照度的影响，提高大视场范围的信噪比，可二次增强待检测杂质成像的信噪比，可以对杂质成像进行边缘增强，可以放大待检测杂质的可观测范围，可以统一杂质的可观测模式，最小可分辨尺寸为探测器像素大小(um量级)，综合以上各种因素提高检测成功率。