一种MAU控制系统及电子洁净厂房MAU高精度控制方法

摘要

本发明涉及MAU高精度控制技术领域，具体涉及一种MAU控制系统及电子洁净产房MAU高精度控制方法，旨在解决现有技术中无法主动和灵活调整中低温水的负载形成的问题，其技术要点在于：所述MAU控制系统包括若干MAU机组及PLC控制系统，所述MAU控制系统包括若干集风管及集风管压差传感器，所述MAU机组包括依次设置的室外温湿度传感器、加湿盘、变频风机及出风口温湿度传感器，所述室外温湿度传感器设置在所述进风口外侧，所述出风口与所述集风管连接，所述集风管压差传感器设置在相邻所述MAU机组之间，所述MAU机组还包括若干控温水管，所述控温水管上设置有控制水流的调节阀。所述电子洁净产房MAU高精度控制方法使用上述MAU控制系统进行控制。