适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统

摘要

本实用新型涉及一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，属于电子工业洁净室领域。包括无级调速直流无刷新风机组、集中控制器、电动调节阀、风压传感器、无级调速直流无刷支路风机、压差传感器、压差控制器。从调试阶段分为工作模式和值班模式，两种模式初始设置为各自的调试状态。洁净室的压差控制优先调节直流无刷支路风机的运转频率，各电动调节阀开度均保持100％，当直流无刷支路风机停止运行压差仍然超压时，再调低相应电动调节阀开度。新风机组调速采用定静压控制，风压传感器设置于支路风机入口附近，以各支路间的实时最低静压点作为定静压点。本实用新型具有较高的控制精度和节能性，控制逻辑清晰，工程适应性强。