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一种基于可控碳纳米镀层的介质表面二次电子发射系数抑制方法

摘要

本发明涉及一种基于可控碳纳米镀层的介质表面二次电子发射系数抑制方法,属于介质表面二次电子发射系数抑制技术领域。本发明实现了多约束条件下基于可控碳纳米镀层的介质表面二次电子发射抑制方法,通过在金属基片表面原子层沉积可控的碳纳米薄膜,实现表面的二次电子发射系数的降低,二次电子发射系数降低幅度超过60%,在解决介质微波部件微放电效应及粒子加速器的电子云方面有较好的应用前景。

著录项

  • 公开/公告号CN112281141A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-01-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西安空间无线电技术研究所;

    申请/专利号CN202011024329.3

  • 申请日2020-09-25

  • 分类号C23C16/455(20060101);C23C16/02(20060101);C23C16/26(20060101);C23C16/52(20060101);

  • 代理机构11009 中国航天科技专利中心;

  • 代理人张丽娜

  • 地址 710100 陕西省西安市长安区航天基地东长安街504号

  • 入库时间 2023-06-19 09:41:38

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-09-27

    授权

    发明专利权授予

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