面向齿轮齿面形状误差的变角度同步相移干涉测量方法

摘要

本发明公开了一种面向齿轮齿面形状误差的变角度同步相移干涉测量方法，沿测量光路设置有前双光楔、后双光楔；沿扫描测量光路设置有结构光传感器，前双光楔与后双光楔之间放置被测齿轮。将双光楔引入到了测量光路，定量改变入射角照射到被测齿面的角度，从而调整干涉条纹的密度分布方便相位数据处理；将结构光传感器引入干涉测量装置中，投射的结构光通过在测量过程中与被测物表面的相对运动，结合干涉测量数据，使得在对大螺旋角复杂螺旋曲面进行测量时可以保证全场测量。本发明的测量方法将空间相移技术引入到干涉测量装置中，通过单次测量拍摄能够得到多张移相干涉图，简化了操作流程步骤，提升了装置的抗干扰能力。