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一种EMCCD电荷转移效率的测试方法

摘要

本发明公开一种EMCCD电荷转移效率的测试方法,包括以下步骤:a、采用非倍增模式,测量EMCCD的非倍增输出信号电荷在转移前的数值V2,并记录此时所有的交直流电极数据、温度数据与光照数据;b、采用倍增模式,交直流电极数据、温度数据与光照数据按照步骤a执行,单独调节倍增电极,测量EMCCD的倍增输出信号电荷在转移前的数值V1;c、将V1与V2代入公式,计算得到EMCCD电荷转移效率;该方法基于EMCCD已有的版图结构,无需更改电路版图与工艺,能够对EMCCD的电荷转移效率准确的测试与计算。

著录项

  • 公开/公告号CN112269075A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-01-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华东光电集成器件研究所;

    申请/专利号CN202011026774.3

  • 发明设计人 焦贵忠;孙丽丽;田波;卜令旗;

    申请日2020-09-25

  • 分类号G01R31/00(20060101);

  • 代理机构34113 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人陈俊

  • 地址 233030 安徽省蚌埠市经济开发区汤和路2016号

  • 入库时间 2023-06-19 09:40:06

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-06-24

    授权

    发明专利权授予

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