基板悬浮型激光处理装置和悬浮高度的测量方法

摘要

本发明涉及基板悬浮型激光处理装置和悬浮高度的测量方法。根据实施例的基板悬浮型激光处理装置包括：用于将基板悬浮和运送的台架；以及用于测量基板的悬浮高度H的悬浮高度测量装置。注意，悬浮高度测量装置与基板之间的距离可以根据所测量的悬浮高度H自动调节。基板的悬浮高度H是通过向基板和台架施加激光来测量的。悬浮高度测量装置与基板之间的距离通过使用反馈机制来调节，在该反馈机制中，将所测量的基板的悬浮高度用作输入。