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自由基辅助点火等离子体系统和方法

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摘要

公开了等离子体辅助方法和设备。所述方法和设备可用于将在远程等离子体单元中形成的活化物种提供到反应室，以有助于在联接到所述远程等离子体单元的反应室内点燃等离子体。

公开/公告号CN112242300A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-19

原文格式PDF
申请/专利权人 ASM IP私人控股有限公司;
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申请/专利号CN202010667831.X
发明设计人崎口博夫;
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申请日2020-07-13
分类号H01L21/3065(20060101);H01L21/67(20060101);H01J37/305(20060101);H01J37/32(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人焦玉恒
地址荷兰阿尔梅勒
入库时间 2023-06-19 09:36:59

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-08-05

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/3065 专利申请号:202010667831X 申请日:20200713

实质审查的生效

1. 自由基辅助点火等离子体系统和方法 [P] . 中国专利： CN112242300A . 2021-01-19
2. 具有预燃室以及通过高频等离子体放大的火花塞点火火花的点火系统以及相应的方法 [P] . 中国专利： CN111022240B . 2022.02.18
3. SYSTEM AND METHOD FOR VACUUM ULTRAVIOLET LAMP ASSISTED IGNITION OF OXYGEN-CONTAINING LASER SUSTAINED PLASMA SOURCES [P] . WO2021076534A1 . 2021-04-22

机译：真空紫外灯的系统和方法辅助氧激光持续等离子体源的辅助点火
4. System and Method for Vacuum Ultraviolet Lamp Assisted Ignition of Oxygen-Containing Laser Sustained Plasma Sources [P] . US2021120659A1 . 2021-04-22

机译：真空紫外灯的系统和方法辅助氧激光持续等离子体源的辅助点火
5. PLASMA IGNITION SYSTEM, PLASMA IGNITION METHOD, AND PLASMA GENERATING APPARATUS [P] . SG181572A1 . 2012-07-30

机译：等离子体点火系统，等离子体点火方法和等离子体产生装置