一种基于Nd:YAG和Er:YAG激光器和频产生的248nm高功率深紫外激光器

摘要

本发明涉及一种基于Nd:YAG和Er:YAG激光器和频产生的248nm高功率深紫外激光器，包括1064nmNd:YAG激光器和1645nmEr:YAG激光器；其中，1645nmEr:YAG激光器沿光路依次设置有第一倍频非线性晶体、第一双色镜及第二双色镜；1064nmNd:YAG激光器沿光路依次设置有第二倍频非线性晶体、第一和频非线性晶体及第三双色镜；第二双色镜和第三双色镜将激光分别引入第二和频非线性晶体获得248nm高功率深紫外激光输出。本发明能够大大降低激光器的造价，而且效率较高，大大简化了设备复杂程度，使得整体系统结构更加紧凑。