公开/公告号CN112229530A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院电工研究所;
申请/专利号CN202011062518.X
申请日2020-09-30
分类号G01K7/01(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司;
代理人李博洋
地址 100190 北京市海淀区中关村北二条6号
入库时间 2023-06-19 09:33:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-10-03
授权
发明专利权授予
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